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열분해 분위기, 가스의 유량 속도, 노의 설계와 같은 여러 가지 요인들을 잘못 선택하고 조절한 것에 기인한다. 1.batio3의특징
2.batio3의 응용-반도체재료
-반도체 재료로서의 특성
3.batio3분말 합성기술
-고상법
-액상법
-기상법
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기상 합성법(Vapor Phase Preparation Process)
① 기상화학 반응
② 화학적 증착
3) 기상 산화법(Vapor Phase Oxidation Process)
99.9% 이상의 고순도 분말을 얻는다.
4) 기상 분해법(Vapor phase decomposition process)
① 기상 열분해 (Vapor phase thermal decomposition)
휘발성 금
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법으로는 0.1 ㎛이하의 입자를 가진 초미립 분말의 제조가 불가능하며 순도나 생산 효율 면에서 여러 문제점을 가지고 있어 현재 실용화가 어려운 실정이다.
Ⅲ.결론
나노금속분말재료는 그 분말 입자가 가지는 고유특성에 의해 잠재적인 가
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합성하기 위해 반응기체로서 C2H2, CH4, C2H4, C2H6, CO2 가스를 사용하고, 촉매금속은 Si, SiO2 또는 글라스 기판위에 Fe, Ni, Co 등의 금속을 열증착법이나 스퍼터링법으로 증착하여 사용한다.
(3) 열화학 기상증착법
열CVD 합성방법은 생성물이나 원료가
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합성하기 위해 반응기체로서 C2H2, CH4, C2H4, C2H6, CO2 가스를 사용하고, 촉매금속은 Si, SiO2 또는 글라스 기판위에 Fe, Ni, Co 등의 금속을 열증착법이나 스퍼터링법으로 증착하여 사용한다.
(3) 열화학 기상증착법
열CVD 합성방법은 생성물이나 원료가
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