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기판을 구성하는 분자간의 결합력을 제거해 기판을 잘라낸다. 물리적인 접촉 없이 순식간에 절단하기 때문에 절단면의 강도도 기존의 방식에 비해 3배가량 높고, 절단 이후 거쳐야 하는 세정, 그라인딩 등 부가공정도 필요없다.
Ⅴ.결론
TFT-LCD
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세정→ 증착→ PR도포→ Pre bake→ 노광→ 현상 →Rinse→ Post bake→ Etching 과정을 하였다.
증착과정에서 sputter를 이용하여 Ar기체가 플라즈마 상태가 되어 Cu원자와 탄성충돌, 그 결과 구리 원자/분자가 튕겨져 나와 soda-lime glass에 증착된다. 그 결
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세정을 한다. 1차세정은 DI물로 하는세정으로 Ultra sonic 기계를 이용하여 Particle이나 유리 기판을 자르면서 생긴 유리 가루들을 제거해준다. 2차세정은 위와 같은 기계로 Aceton으로 세척을 한다. 이것을 하는 이유는 기판을 만지면서 생긴 사람의
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세정을 한다. 1차세정은 DI물로 하는세정으로 Ultra sonic 기계를 이용하여 Particle이나 유리 기판을 자르면서 생긴 유리 가루들을 제거해준다. 2차세정은 위와 같은 기계로 Aceton으로 세척을 한다. 이것을 하는 이유는 기판을 만지면서 생긴 사람의
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파장은 산소 분자로 부터 오존을 만들고 유기물로부터 제공된 수소, 탄소와 결합하여 유기물울 제거하게 된다.
한편 자외선 세정기에서 제공하는 OZONE(O3)는 각종 기판의 표면과 화학적, 물리적으로 반응하여 필름의 부착력을 향상시킨다. 이
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