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신소재기초실험 Ⅰ(Text Book) , 국민대학교 공과대학 신소 재공학부, P. 21~ P. 33 제목 : 산화 공정 (Oxidation) 목적 이론 : 딜-그로브의 열 산화 모델 (Deal-Grove Model of Oxidation)  - Furnace system  -실험방법  -실험결과  -고찰  -참고문헌 :
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산화막의 용도(Uses of Oxide Film) ●확산공정 ●표면 안정화 ●소자보호와 격리 ●게이트 산화물 유전체 -딜-그로브의 열 산화 모델(Deal-Grove model) 3. 실험방법 4. 실험결과 ● 데이터 분석표 ⑴ 1h ⑵ 2h ⑶ 4h 5. 고찰 6. 참고문헌
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