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신소재기초실험 Ⅰ(Text Book) , 국민대학교 공과대학 신소 재공학부, P. 21~ P. 33 제목 : 산화 공정 (Oxidation)
목적
이론 : 딜-그로브의 열 산화 모델 (Deal-Grove Model of Oxidation)
- Furnace system
-실험방법
-실험결과
-고찰
-참고문헌 :
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- 등록일 2012.04.14
- 파일종류 한글(hwp)
- 참고문헌 있음
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산화막의 용도(Uses of Oxide Film)
●확산공정
●표면 안정화
●소자보호와 격리
●게이트 산화물 유전체
-딜-그로브의 열 산화 모델(Deal-Grove model)
3. 실험방법
4. 실험결과
● 데이터 분석표
⑴ 1h
⑵ 2h
⑶ 4h
5. 고찰
6. 참고문헌
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- 등록일 2012.05.19
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