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산화막(Oxide Film)
- 산화막의 용도(Uses of Oxide Film)
●확산공정
●표면 안정화
●소자보호와 격리
●게이트 산화물 유전체
-딜-그로브의 열 산화 모델(Deal-Grove model)
3. 실험방법
4. 실험결과
● 데이터 분석표
⑴ 1h
⑵ 2h
⑶ 4h
5. 고
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OXIDATION(산화공정) 프린트
* 신소재기초실험 Ⅰ(Text Book) , 국민대학교 공과대학 신소 재공학부, P. 21~ P. 33 제목 : 산화 공정 (Oxidation)
목적
이론 : 딜-그로브의 열 산화 모델 (Deal-Grove Model of Oxidation)
- Furnace system
-실험방법
-실험결
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산화공정이다. 소자마다 차이는 있지만 산화공정의 횟수는 대부분 소자를 만들기 위해 사용되는 mask의 장수만큼 또는 그보다 많은 횟수가 필요하다.
1.3 산화 기구
딜-그로브의 열 산화 모델(Deal-Grove Model of Oxidation)
Si기판을 고온(1000℃ 전후)
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산화물
4.1 성질
4.2 중요성 및 영향
4.3 제거방법
5.유황산화물
5.1 성질
5.2 영향
5.3 제거방법
6. 프레온문제와 대체품, 대체기술의 개발동향
6.1 서론
6.2 프레온이란
6.3 프레온의 종류와 분류
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모델개발에 관한 연구, 2007
박전자 / 노인을 위한 주거환경조성의 이론 및 방법론적 연구, 가정대 가정관리학과 부교수
사회복지연구소 / 저소득층 노인의 소득창출과 연계한 협력개발 방안 연구, 연세대학교 보고서, 2003
이인수 / 노년기 주거
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