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렌즈, 구면수차판, 검사렌즈, 스크린 순서로 설치한다.
②렌즈사이의 거리는 빛의 광량을 조절하기 위해 적절한 초점거리를 생각해 간격을 두고 평행광선이 되도록 평행렌즈를 조절한다.
③평행렌즈 와 검사렌즈 사이에 구면수차판 10Φ를 끼
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광학계(Electrical optical system)
② 시료실(Specimen stage)
③ 검출기(Secondary electron(SE) detector)
④ 배기계(Vacuum system)
⑤ 전기계(Electronics)
5. SEM의 분해능
6. SEM의 시편준비
7. SEM으로 관찰한 여러 가지 영상
① 분말시료
② 나비날개
③ 반도
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정확히 위치시키도록 할 수 있을 뿐만 아니라 magnification, contrast, resolution, depth of field등에도 영향을 미 친다.
따라서 관찰한 시편의 영상이 좋지 않을 경우에는 시편의 방향을 재조정하여 영상의 질을 향상시킬 수 있다.
7. SEM으로 관찰한 여러
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수차를 구면 수차라고 한다. 얇은 렌즈에 의하여 생기는 구면수차에서 가장 적은 수차의 영향을 받을 수 있는 범위는 광선의 수렴이 이루어지는 과정에서 빛다발(light bundle)의 단면이 가장 적은 곳(최소 혼돈원)에서 screen을 세우면 비교적 수
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렌즈를 끼우고 눈으로 보는 용도로 팔고 있다. 하지만 여기서 시야를 넓게 하기 위한 \'리듀서\'나 혹은 뉴턴식 경통의 경우 코마수차를 보정하기 위한 코마콜렉터를 추가악세사리로 취급하여 파는 경우가 있는데, 대부분 이런 추가 광학계에
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