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두가지 방법에 대해 알게 되었고, 그중 우리가 실험한 4-Point probe method방법에대해 더 자세히 알게 되었다, 조사를 통해, 면저항의 정의가 얇은 막의 저항 값을 특징짓는 지표로, 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시 된다는 것을 조사를
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두가지 방법에 대해 알게 되었고, 그중 우리가 실험한 4-Point probe method방법에대해 더 자세히 알게 되었다, 조사를 통해, 면저항의 정의가 얇은 막의 저항 값을 특징짓는 지표로, 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시 된다는 것을 조사를
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4-point probe, Stylus을 이용하여 증착된 알루미늄의 면적, 면
저항 그리고 두께를 측정함으로써 특성을 관찰한다.
5. 실험보고서
1). 증착된 알루미늄의 비저항
(1). 알루미늄 질량 = 0.1g
면저항(mΩ/sq)
두께(nm)
비저항(ρ)
1
2
3
4
5
평 균
(2). 알루미늄
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4-point probe, Stylus을 이용하여 증착된 알루미늄의 면적, 면
저항 그리고 두께를 측정함으로써 특성을 관찰한다.
5. 실험보고서
(1) 증착된 알루미늄의 비저항
가. 알루미늄 질량 = 0.1g
면저항(mΩ/sq)
두께(nm)
비저항(ρ)
1
2
3
4
5
평 균
나. 알루미늄
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4) Two-point Resistance Probe Station
Ⅲ. Experiment
Ⅳ. Result
[1] UV-IR-visible Spectrophotometer
[2] Confocal Scanning Laser Microscope
[3] Two-point Resistance Probe Station
Ⅴ. Discussion
[1] UV-IR-visible Spectrophotometer
[2] Confocal Scanning Laser M
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