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면저항의 정의가 얇은 막의 저항 값을 특징짓는 지표로, 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시 된다는 것을 조사를 통해 알게 되었고, 또 이 면저항을 왜 측정하는지에 대한 이유도 알게 되어, 뜻깊은 실험이엿다. 1. 실험목적
2. 이론
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, 조사를 통해, 면저항의 정의가 얇은 막의 저항 값을 특징짓는 지표로, 흔히 박막의 단위 두께당 비저항으로 표시 된다는 것을 조사를 통해 알게 되었고, 또 이 면저항을 왜 측정하는지에 대한 이유도 알게 되어, 뜻깊은 실험이엿다.
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차이가 있었다. 그 이유로는 두께의 차이와 실리카웨이퍼의 특징에서 찾을 수 있었다.
6. 참고문헌
William F. Smith / 재료과학과 공학 / Mc Graw Hill / P.760~763 1. 목적
2. 실험이론
3. 실험 재료 및 방법
4. 실험결과
5. 결론 및 고찰
6. 참고문헌
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수 있었다.
6. 참고문헌
William F. Smith / 재료과학과 공학 / Mc Graw Hill / P.695~721, P760~763
박준용교수님 / 전자기적특성평가 / 금오공과대학교 / 강의자료 PDF 1. 목적
2. 실험이론
3. 실험 재료 및 방법
4. 실험결과
5. 결론 및 고찰
6. 참고문헌
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실험 결과를 얻게 되었다.
여건이 허락된다면 도핑된 실리콘과 도핑되지 않은 실리콘의 온도 증가에 따른 저항의 변화를 측정해보면 좋겠다. 그리고 물론 이론적으로 알고 있지만 온도를 올리는 경우외에 내리는 경우에 물질의 저항변화도
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