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digest, 407 (2003)
[28]
[29]
[30] 1. 서론
2. MEMS
2.1 개요
2.2 활용
- 잉크젯 프린터
- 광섬유
- MEMS에서의 센서
- 마이크로 펌프
3. 기타미세제조기술
3.1 베어링
3.2 혼성집적회로기판
3.3 칸소나노튜브
4. 결론
5. 참고문헌
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미세 튜브
현재로는 탄소 나노튜브, 그 다발(로프), 혹은 튜브들의 뭉치들이 구체적으로 어떻게 이용될 것인지 미지수이다. 미국의 New York Times지는 최근호에서 실리콘 이후 새로운 소재로서 탄소 나노튜브의 가능성을 크게 다루고 여러 저명
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튜브(carbon nanotube: CNT) 1991년 Iijima에 의해 처음 발견된 이후 독특한 특성으로 인해 전세계적으로 많이 연구되고 있다. 탄소나노튜브는 직경 수십~수백nm 길이는 수십~수백㎛, 단일벽(singlewall), 다중벽(multiwall), 다발(rope) 등의 다양한 구조가 있다
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튜브의 우수한 전기전도도와 기계적 강도를 이용하면 SPM, STM 및 AFM의 tip으
로 사용할 수 있다. 현재 AFM tip으로 이용되고 있는 Si 이나 SiN 재질의 tip 경우 시편의
미세결함을 부분적으로 관찰하지 못하는 단점이 있다. 탄소나노튜브 tip을 사용하
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튜브(Single-walled Carbon Nanotube),
이중벽 탄소나노튜브(Double-walled Carbon Nanotube), 다중벽 탄소나노튜브(Multi-walled Carbon Nanotube), 다발형 탄소나노튜브(Rope Carbon Nanotube)로 구분한다.
3-1. 탄소나노튜브의 구조
1)결합 수에 따른 분류.
①단일벽 탄소
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