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아니라 전자, 생화학, 전산, 물리 등의 분야에서 서로 협력하여 연구되어야 할 기술인 만큼, 협력과 교류를 통해 21세기 첨단 기술의 선두에 설 수 있게 되기를 기대해본다. #반도체 소자의 제작공정
#MEMS (micro electro mechanical systems)
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전기도금과 무전해 도금의 원리와 응용", 대한금속학회지, Vol. 12. (1999)
2. 허진, 이재호, "MEMS에 응용되는 무전해 니켈 도금을 이용한 마이크로 구조물의 제 조", 한국부식학회지, VOL. 29. (2000).
3. 인터넷 두산세계대백과
4. 김남일, 장시성, "무전
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반도체 웨이퍼 기판 위에 제작 및 실장하여, 하나의 칩에 전자-기계 시스템을 만드는 기술
응용분야 : 센서분야, 에어백, 캡슐 내시경, 프린팅 헤드
* MICROS : 미소정보 시스템
반도체 제조 기술을 이용하여 여러 감시 및 진단 기능을 갖는 소자
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MEMS기술을 이용하여 1㎝ 크기의 실리콘칩 위에 단백질 약 1만5000여개를 담을 수 있는 단백질칩 개발(서울대)
□ 나노공정장비기술분야
* 고유전율의 세륨산화물을 실리콘위에 성장시켜 0.38nm 실리콘 산화물 gate 절연막 제작에 성공(도시바)
* 현
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전자 치료기술 분야
ㆍ바이오칩
ㆍ장기 복제/이식
ㆍ영상진단기기
ㆍ지능형 바이오-MEMS(초고속 바이오 기술분석)
ㆍ뇌질환 치료 및 뇌기능 활용
ㆍ유용 단백질 및 단백질 치료제
ㆍ유전자 활용 신종자 기술
ㆍ세포치료제
부처별 업무분장 내
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