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전자현미경의 column내에서 공기분자들이 고에 너지입사 전자나 시료에서 방출되는 2차 전자들과 충돌을 방지하도록 column내의 공기를 빼내는 것이다. 전자총과 전자광학계 내의 전자선 통로 및 시료실은 1.3×10-3Pa이상의 높은 진공으로 배기시
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전자광학계
전자총에서 나온 전자선을 가늘게 집속하여 시료 위를 2차원적으로 주사시키면서 조사
시료 스테이지
관찰 시료를 취급
검출기
시료의 표면에서 나오는 신호를 검출
시료실
시료 스테이지와 검출기를 포함
배기계
전자선 통로
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전자현미경은 가느다란 전자빔을 시료표면에 주사시켜 2차 전자를 발생하게 하여 입체감 있는 시료의 표면상을 얻기위한 장치이다. 또한 SEM의 초점심도가 크기 1. 실험목적
2. 이론
가. SEM
나. SEM의 구성
1) 전자광학계(Electrical
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광학계(2000), 특허기술정보센터
실용신안 20-2003-0025585, 광학 장치, 광학 유닛 및 프로젝터
특허 10-2002-7011207, 조명 광학계 및 그것을 이용한 프로젝터
디스플레이 공학Ⅰ, 청범 출판사
디스플레이 공학Ⅱ, 청범 출판사
그림으로 보는 광전자공학
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광학계를 상하로 움직여 주는 역할을 하며 미동나사에 비해 움직임이 비교적 크다.
미동나사 - 초점을 맞출 때 현미경 광학계를 상하로 움직여주는 역할을 한다. 이 1. 실험제목
2. 실험목적
3. 서 론
-최초의 현미경
-현미경의 종
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