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홈페이지
3. 김영석, 반도체 알고보면 쉬워요, 홍릉과학 (2007)
4. 강구창, 반도체 제대로 이해하기, 지성사 (2005) 1-1. 제품의 기본 사양 _ 폴리실리콘(poly silicon)
2. 반도체의 대표적인 화합물
3. 단계별 공정도와 기술적 측면
4. 경제성 측면
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공정기술, 대영사, 1997, pp.149
6.반도체 산업 및 반도체 재료 산업의 실태와 전망, 데이콤 산업연구소,1998,pp.117 실리콘 단결정(single crystal)
- 초크랄스키법(CZ법)
- 플롯존법(Float Zone Method, FZ)
* 그 외의 결정 성장법
반도체 제조 기술
1.
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10권 제 5호 결정질 실리콘 태양전지 제조공정
1. 전지의 일반 제조 공정
2. 고효율을 위한 제조 공정
고효율 태양전지 제조공정
1. 표면 구조화를 위한 나노 마스킹 공정
2. 선택적 에미터 형성을 위한 확산 공정
참고문헌
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제조
세정 및 웨이퍼 표면 가공
에미터 형성
전극 그리드 설계 및 마스크 제작
후면 전계(BSF:back surface field) 형성
전면 전극 형성
측면 접합 제거 (isolation)
반사 방지막 형성
태양전지 특성 검사 1. 태양전지 제조공정
2. 실리콘 결정성
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제조공정용, 웨이퍼 처리공정용과 조립공정용으로 나눈다. 웨이퍼 제조공정은 실리콘( 혹은 화합물반도체 )기판을 제조하는 공정으로서 기판소재, 연마재, 고순도가스 등이 사용되며 웨이퍼 처리공정에는 포토레지스트, 포토마스크, 현상액,
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