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게이지의 경우 오히려 누드형의 경우가 금속 flange에 부착되어 진공 용기 속을 향하고 있어 그 내부를 볼 수 없다. 튜브 형은 filament를 포함한 전극들이 유리튜브 속에 갇혀있고 또한 그 단자가 유리에 접합이 되어있기 때문에 filament 가 끊어지
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진공 게이지, 즉 압력계는 기체가 가진 열 또는 전기적 특성을 이용하고 있다. 이들 물리량은 나중에 보정과정(calibration)을 통하여 압력으로 변환된다.
하지만 이러한 물리적 특성이 기체마다 다르므로 대부분의 경우 질소에 대한 압력으로
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가진 다른 물리량을 이용하여 간접적으로 압력을 측정하는 경 우가 있는데 대부분의 진공게이지는 간접적 측정을 이용한다.
진공의 정도를 나타내는 물리량이 무엇인가가 중요한데 대부분 압력을 사용하고 있다. 하 지만 압력이 같더라도
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가진 다른 물리량을 이용하여 간접적으로 압력을 측정하는 경 우가 있는데 대부분의 진공게이지는 간접적 측정을 이용한다.
진공의 정도를 나타내는 물리량이 무엇인가가 중요한데 대부분 압력을 사용하고 있다. 하 지만 압력이 같더라도
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진공장치의 진공도 측정도구 피라니 게이지
피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘
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