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진공도 등에 영향을 주지 않을 정도의 누출이 요구된다. 이와 같이 진공 공정에서 leack는 매우 중요한 요소이다.
진공이 새는 원인은 크게 두 가지로 나뉠 수 있다.
첫 번째로, 실제 누출(Real leak)은 틈새를 통해 외부 대기로부터 진공용기 안으
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대신에 고속의 수증기를 이용하고 수Torr까지 사용이 가능하다.
2) Water jet 펌프
수압을 이용하여 간단한 진공 또는 흡입 장치로 사용하는데, 유속이 빠른 곳에서 압력이 낮아진다는 베르누이 정리를 이용한 방법이다.
Ⅲ. 진공장치의 진공도
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용어
① 많이 사용되는 단위 사이의 관계
② 진공의 단위(진공도)
5) 진공도에 따른 분류 및 진공측정
① 진공도에 따라 편의상 다음과 같이 분류한다.
② 펌프의 성능을 나타내는 용어
③ 진공의 측정
④ 진공게이지
6) 진공의 응용
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용어
① 많이 사용되는 단위 사이의 관계
② 진공의 단위(진공도)
5) 진공도에 따른 분류 및 진공측정
① 진공도에 따라 편의상 다음과 같이 분류한다.
② 펌프의 성능을 나타내는 용어
③ 진공의 측정
④ 진공게이지
6) 진공의 응용
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기초적인 개념이 되고 있습니다.
우리가 흔히 사용하는 진공도의 단위인 토르(Torr)는 토리첼리의 머릿 글자를 딴 것이며, 대기압 상태를 표시하는 760Torr나 760mmHg,76cmHg 등도 모두 토리첼리의 실험에서 나타나는 수은주의 길이를 이용 한 대기
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