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측정도구 피라니 게이지
피라니 게이지란 저압과 진공 영역을 측정하는데 있어 많이 쓰이는 압력게이지이다. 원리는 기체의 열전도율이 저압하에서는 거의 진공도(잔류기체의 압력)에 비례한다는 것이고, 구조는 필라멘트를 가진 관구의 한
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진공도 및 압력 측정은 실험과정을 통하여 결과를 얻는 것에 비중을 둔 것이 아닌 앞으로 진공에 대한 실험이나 연구를 하는데 있어서 진공이라는 개념을 확실히 인식하고 장비의 사용은 어떻게 이루어지며 문제점에 대한 원인이나 해결방안
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측정이 가능해 진공도의 표준으로써 쓰인다. 진공계의 교정에는 이 밖에 표준진공압력의 발생법인 팽창법과 유량법이 이용된다.
② Pirani Gauge
피라니 진공계는 기체 분자에 의한 열전도가 압력에 의존하는 현상을 이용하는 진공계의 일종으
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측정방법은 비파괴 방법이라는 장점과 증착과정 제어에 매우 유용한 방법이다.
1. 이온화법
위의 그림에는 증발된 증기의 이온화로 생긴 이온 전류를 측정하는 장치가 그려져 있다. 진공도를 측정하기 위한 이온 게이지를 증발된 물질의 흐름
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측정하고, 각각의 차이점을 분석하여 박막의 물리적, 광학적 특성에 관하여 토의 할 것이다.
1. 이 론
Ⅰ.스퍼터링.
원자간 결합에너지보다 큰 운동 에너지로 충돌할 경우 충격에 의해서 물질의 격자간 에너지가 다른 위치로 밀리게되어 표면
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