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진공의 필요성
- 깨끗한 환경 제공: 불순물, 산화물 제거 등
- 적절한 환경 제공: TV모니터, 입자 가속기 등 적정 진공도 필요
- 진공 특성 이용: 진공청소기, 진공 보온병 등
<중 략>
플라즈마란?
▪ 플라즈마는 고체, 액체, 기체에
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진공증착과 비교하면 날아가는 알루미늄 원자의 속도가 100배나 빠르기 때문에 박막과 웨이퍼의 부착강도가 크다. 2극 스퍼터링 이외에 웨이퍼와 타깃 사이에서 음극과 양극으로 플라즈마를 발생시키는 4극 스퍼터링 방식, 그리고 고주파를
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진공과 박막을 제작하고 개념을 이해하는 실험이다.
실험과정에는 Slide Glass 세척과 박막 제작이 있지만 실제 실험에서는 박막 측정 만 하였다. 박막을 조절하여 선명하게 하여야 실험 시 ∇L과 L의 구분이 쉽게 관측 1.서론 -①목적
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진공을 만든 후, Diffusion Pump를 통해 고진공 상태로 만든 다음 가스를 흘려준 후 전압을 걸어 플라즈마 상태로 만들고, 아르곤 가스를 이용해 실리콘 기판 위에 구리를 증착해보는 실험을 하였으며, roughness 등 증착이 얼마나 잘 이루어졌는지는
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플라즈마 상태가 되어 Cu원자와 탄성충돌, 그 결과 구리 원자/분자가 튕겨져 나와 soda-lime glass에 증착된다. 그 결과 얼굴이 환하게 비추어 질만큼 광택이 나는 Cu가 증착 되었다. 증착상태를 알아보기 위해 스카치테이프를 가장자리에 붙였다
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