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진공물리 및 진공기술’, 한양대학교 출판부, 1999
2. Harland G. Tompkins, 'Pumps Used in Vacuum Technology', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, 'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌
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진공물리 및 진공기술', 한양대학교 출판부, 1999
2. Harland G. Tompkins, 'Pumps Used in Vacuum Technology', American Vacuum Society(AVS), 1991
3. Donald M. Mattox, 'Handbook of Physical Vapor Deposition Processing', Noyes Publication, 1998 1. 진공 펌프의 분류
2. Positive displacement 펌
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진공공학, 한국경제신문, 한경BP
안일신(1999) : 진공물리 및 진공기술, 한양대학교 출판부
정석민·이진원·박종윤(2001) : 진공과학입문, 청문각 Ⅰ. 진공기술의 응용
Ⅱ. 진공펌프의 분류
1. Positive displacement 펌프
1) 로터리 펌프(rotary vane p
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진공이란?
진공 펌프의 목적
진공 상태로 얻어지는 효과
진공 펌프의 선정
진공 시스템의 구성
진공도의 영역대별 분류
진공 펌프의 종류
공업화학 또는 화학공학과의 연계성
기술 개발 추이
기술의 시장성
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진공 게이지의 분류
진공게이지는 그 기능별로 여러 가지로 분류가 가능하다.
․측정 기체의 구분 여부에 따라
- 전압 측정(total pressure measurement) : 대부분의 게이지가 이에 해당하는데 압력을 발생시킨 기체의 종류에 대한 정보는 알지
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