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질화알루미늄에 대해서 공부하면서 질화 알루미늄이 금소기지에 세라믹 입자,휘스커 또는 화이버 등이 강화제로 첨가된 금속기 복합재료등 적용분야가 점차 확대대고 있는 첨단재료 분야라는것을 알수있었다.
마지막으로 실험과정에서 조
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양질의 AlN을 얻기가 어렵다. 1. 실험목적
2. 이 론
▣ 질화알루미늄(AIN)
▣ AIN(질화알루미늄)의 원료분말 제조법
▣ 금속화합물의 합성
▣ 질화물의 제조와 특성평가
3. 실험장치 및 시약
4. 실험방법
5. 참고문헌
6. 추론
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질화알루미늄, 질화규소, 탄화규소, 니켈페라이트 등을 만듬)
②이온이 충돌하면 무엇이 튀어나오는가?
ⓐ스파터링법(sputtering) : 이온을 고체표면에 충돌시키면 원자, 분자, 이온이 방출되는 것을 이용하여 이것을 기판 위에 받아 막으로 하려
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질화알루미늄, 그라파이트 등 세라믹 재료가 사용된다. 전공정 장비에 쓰이는 파츠는 웨이퍼를 잡아주는 포커스링, 가스 케미컬 분사를 도와 주는 일렉트로드, 일렉트로드를 지지하는 가이드링 등이 있다. CMP(화학적·기계적 연마) 패드, 히터
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질화법에 의한 질화물 강화 Al 합금의 제 조공정에 대한 연구”.1995년 8월,서울대학교 대학원
8) James R. Bowser.\'inorganic chemistry\'.자유아카데미.1997 1st ed.
9) www.google.co.kr : 질화 알루미늄 합성
e-book : 21세기를 뒷받침할 신소재, 신재료(겸지사) - 5.7.
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