피라니 진공계와 스피닝로터 진공계의 정의와 비교

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피라니 진공계와 스피닝로터 진공계의 정의와 비교

기체분자의수(점성) 에 비례 하므로 이의 관계를 이용하여 회전속도 감속률에 따른 압력 변화를 이용하여 진공도를 측정한다. 1. 피라니진공계 1-1 정의 1-2 원리 2.스피닝로터 진공계 2-1 정의 2-2 원리 3.두 진공계의 공통점과 차이점

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등록일 2007.11.14
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