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나노기술에 대한 전반적인 평가에 따르면 우리의 기술수준은 대체적으로 선진국의 25%에 불과한 실정이다. 예를 들면, 현재 세계적으로 가장 미세한 나노 반도체소자는 인텔에서 개발한 게이트 길이가 20nm이지만 우리는 한국과학기술원(KIST)
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6. NT이용 테라급 반도체 및 나노메카트로닉스 개발
7. 전통산업 지원용 IT 원천기술개발
Ⅶ. 나노기술(NT)의 종합발전계획
1. 목표
2. 추진방향
Ⅷ. 나노기술(NT)과 탄소나노튜브
Ⅸ. 나노기술(NT)과 반도체
Ⅹ. 결론
참고문헌
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공정
2.2 TFT 단위공정 개선기술 소개
2.2.1 박막증착 공정
- 원자층증착법
- 플라즈마 강화 원자층증착법
2.2.2 식각 공정
- 조성물 구성비에 따른 식각문제 해결
2.2.3 포토리소그래피 공정
- 포토리소그래피와 나노임프린트
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나노기술은 21세기 과학의 한계를 극복할 새로운 물결로 많은 과학자의 주목을 받고 있다. 현재 대학 및 연구소를 중심으로 나노기술에 대한 연구개발을 추진 중에 있으나 연구의 중복이나 기술교류, 정보공유 및 선진국의 최신 기술동향과
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하는 꼴이다.
하지만 ‘나노시대의 엔진’인 전자빔 식각기술을 이용하면 10나노미터까지 가공할 수 있다. 우리나라에도 서울대 동국대 전자통신연구원 과학기술원이 최근 전자빔 식각장비를 도입하고 나노기술 개발에 뛰어들었다.
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