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ICP-MS는 분광학적 검출기에 훨씬 더 묽은 농도의 시료를 검출 할 수 있지만, 시료의 매질 효과라는 이온의 분산효과에 의해 검출을 방해한다. 효과적으로 검출하고자 하는 이온을 집속 시키기 위해 전기장을 이용하여 정전기적 렌즈를 형성한
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1. 서론
ICP-MS 는 inductively coupled plasma-mass spectrometry의 줄임 말로, 그 뜻을 직역하면 유도결합 플라즈마 질량 분석법이다. 이는 매우 정교하여 part per trillion 단위의 금속 원소및 일부를 제외한 비금속 원소함량의 정량적 측정이 가능하다. 최근
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Linear Dynamic Range가 크므로 ppt 농도의 분석을 수행한 후 장치의 변경 없이 ppm 농도의 시료를 직접 분석할 수 있으며 다원소 동시분석이 가능하므로 분석에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
또한 ICP-MS는 질량분석장치이므로 기존의 분광분석장치
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분석기기 : ICP-MS
ICP-MS는 분석기기 중 최근에 개발된 것으로서, 기존에 사용되던 고주파
유도결합 플라즈마를 이용한 기존의 ICP 발광분석법과 질량분석법을 결합
하여 사용하는 방법으로 기체 크로마토그래피-질량분석법[GC-MS]의 개발
후에
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ICP-MS’기기를 사용해 봄으로써 기계에 대한 적응력을 향상시킬 수 있었다.
4. 실험 결과를 직접 분석해 봄으로써 데이터 작성 및 능력을 배양 시킬 수 있었으며, Excel 등의 프로그램에 익숙해 질 수 있었다.
5. 직접 시료 채집에서 분석에 이르
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니다. 특히, XPS, ICP-MS, SIMS 등의 첨단 분석 장비를 활용하여, 산업에서 요구하는 초고순도 분석 기술을 개발하는 것이 필요하다고 판단됩니다.
RIST에서 이러한 연구를 수행하며, 반도체 및 첨단 소재 산업의 경쟁력을 높이는 데 기여하고 싶습
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ICP-MS 등 정기 교정 및 정확도 검증
ㆍSPC 기반 공정이상 모니터링 체계 도입 및 운영
ㆍ고객 심사 대응 및 품질 감사 리스크 대응 문서 기획
[주요 성과]
ㆍSPC 도입 후 주요 3개 공정 불량률 평균 40% 감소
ㆍ품질이슈 대응시간 40시간 → 평균 8시
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