Lithography 번역

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X-ray Lithography(리소그래피) 정리

전자빔의 궤도 반경 및 전자빔의 에너지를 작게한 리소그래피 전용의 소형 싱크로트론이 완성됨 X-ray Lithography x-ray lithography의 기본원리 x-ray 리소그래피 주요특징 마스크의 투과도 회절효과 싱크로트론 방사광 장점 단점

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등록일 2012.11.22
파일종류 한글(hwp)
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