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2009. 10. 14 수 & 이은정(2008102868) &4조
4. Result
①laser spot size
가로 : 3mm 세로 : 3mm 평균 : 3mm(지름)
②laser fluence
laser power : 40mJ
laser fluence(J/cm3) :
③Plume image in N2
1) Cu
50m Torr 100m Torr
1Torr 10Torr
색깔 : 연한 분홍색과 주황색사이
압력이 커질수록 plume
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plume을 볼 수 있는가?
6. 몇 가지의 chamber압력에서 카메라를 사용하여 plume images를 찍어라.
①at N2 50 mTorr ②at N2 100 mTorr
③at N2 1 Torr ④at N210 Torr
7.특정한 압력에서 몇가지 금속과 결합되어 있는 target에 plume image를 찍어라
8. plume image들을 얻은 후
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는데, 낮은 압력일수록 그러한 현상이 관찰되어, 뒤에 꼬리가 길어지는 모습이 보였고, 높은 압력에서는 꼬리가 없거나 짧아지며, 플룸의 크기도 작아지는 현상을 보였다. 이번 실험에서 가장 낮은 압력이 50 mTorr였는데, 이때 가장 관찰이 잘
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이론 print)
Optical emission studies of a plume produced by laser ablation of a graphite target in a nitrogen atmosphere / Hye Sun Park, Sang Hwan Nam, Seung Min Park (2003.12.10) 사전
1.실험제목
2.날짜
3.반&이름
4.실험목적
5.실험이론
6.기구 및 시약
7.실험방법
8.참고문헌
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시킬 수 있다. 대신 위에서 보는 것과 같이 PLD는 Target으로부터 나온 Laser Plume의 면적만큼 기판에 증착하게 된다. 이러한 단점을 극복하기 위해서는 Target과 기판사이의 거리를 조절하는 방법과 기판을 Rotation시키는 두 가지 방법이 있다.
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