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공정
<1>TFT/LCD 제조공정
(1) TFT(Thin Film Trasistor, 박막 트랜지스터) 공정
▲ LCD TFT 의 구조(단면도)
1. Polarizing Filter(편광필터)
들어오고 나가는 빛을 조절함
2. Glass Substrate(유리기판)
전극이 형성됨
3. Transparent Electrodes(투명전극)
LCD를 구동함
4.
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TFT Process
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■ TFT Process
∎ Deposition Step : 증착 공정
∎ Photolithography Step : 현상 공정
∎ Etching Step : 식각 공정
■ 박막 트랜지스터를 배열하여 제작하는 공정
■ Wafer 대신에 유리
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Hazard of TFT-LCD
Manufacturing Process
TFT-LCD
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▆ 구성
▪ TFT가 형성되어 있는 아래 유리기판
▪ Color Filter가 형성되어 있는 윗 유리기판
▪ TFT 와 Color Filter 사이에 주입된
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TFT GLS의 PXL과 CF GLS의 ITO 사이에 형성된 전계에 따라 특정 배열을 갖으면서, BLU에서 들어오는 빛만큼을 화면으로 전달 1. LCD Panel 구성과 Manufacturing Processes 中 IPA 사용 공정
1-1. TFT 공정 Flow
1-2. CF 공정 Flow
1-3. Cell 공정 Flow
2. Display
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결정의 성장에 의한 Hillock 발생을 방지하기 위해서임 (Hillock이란 Al Metal이 Chemical 반응에 의해서 알갱이성으로 성장하는 것인데 이것이 원인이 되어 GDS, PD(Point Defect), 얼룩의 원인이 됨) 1. TFT 공정 Process
2. CF 공정 Process
3. Cell 공정 Process
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