MEMS(Micro Electronic Mechanical System)

소개글

MEMS(Micro Electronic Mechanical System)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1.MEMS란?

2.MEMS의 분야

3.MEMS의 발전방향 모색

본문내용

Micro Machine, MEMS 같은 동의어
초소형 기계, 초소형 시스템
현미경에 의존하지 않으면 그 존재를 알지 못함
크기는 ㎛이하의 초 미세 구조물 및 전기 시스템
전기적 기계성질을 가지는 어떤 System
MEMS는 마이크로머신이 느끼고 생각하며 운동함
MEMS의 기술은 반도체 칩을 만드는 실리콘
가공기술 에서 시작
실리콘 기판위에 밸브, 모터, 펌프, 기어등의 미세
기계요소 부품을 3차원 구조로 만들기 위함
다양한 가공기술이 개발
21세기형 산업이 당면하고 있는 기존 기술한계를 극복하기 위한 KEY TECHNOLOGY 개발의 필요성 대두
원자 단위의 극 미세 형상 및 물성 측정 기술 개발을 위한
차세대 핵심 기술 확보요구 증대
MEMS제작을 위한 핵심 공정 장비 개발 요구 증대
MEMS가 가장 먼저 실용화된 분야는 자동차 에어백의 가속도 센서로 현재 이 기술은 보편화 되어 사용되고 있다.
미국의 아날로그 디바이스 사가 93년에 시판한 이 센서의 핵심 부품인 진동감지기는 모래알 수준의 크기이다.
최근 들어서는 보안장치, 의료기기, 정보기기 분야의 연구가 활발히 이뤄지고 있다.

키워드

마이크로시스템,   바이오,   MEMS의 적용분야,   마이크로전지,   마이크로기계,   센서,   RFMEMS