mems 마이크로 펌프

소개글

mems 마이크로 펌프에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. Micro Pump의 필요성

2. Micro Pump의 종류와 동작원리
(1) PZT 소자를 이용한 펌프
(2) 의료용 체내삽입형 마이크로 펌프
(3) Phase-change type Micro 펌프
(4) Electroosomotic 펌프

3. 향후 발전 방향과 결론

본문내용

●화학적, 생물학적 미소분석 시스템 및 미소 유량 조절 시스템에 대한 관심이 증가
● 최근 MEMS기술의 발달과 더불어 마이크로 펌프, 마이크로 밸브와 같은 미세 유량 제어의 유체 소자에 대한 개발의 필요성이 대두되고 있다.
⇒ 마이크로 밸브나 마이크로 펌프 등의 마이크로 유체 소자를 이용한 미소 영역에서의 유동 제어에 대한 연구가 수행되고 있다.

키워드

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