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목차
1. 서론
2. MEMS
2.1 개요
2.2 활용
- 잉크젯 프린터
- 광섬유
- MEMS에서의 센서
- 마이크로 펌프
3. 기타미세제조기술
3.1 베어링
3.2 혼성집적회로기판
3.3 칸소나노튜브
4. 결론
5. 참고문헌
2. MEMS
2.1 개요
2.2 활용
- 잉크젯 프린터
- 광섬유
- MEMS에서의 센서
- 마이크로 펌프
3. 기타미세제조기술
3.1 베어링
3.2 혼성집적회로기판
3.3 칸소나노튜브
4. 결론
5. 참고문헌
본문내용
aek Jang, Dong-Ho Kim,
Chang-Woo Lee, Jin-Koog Shin, Byeong-Kwon Ju et. al., Advanced
Materials 13(18), 1371 (2001)
[10] N. R. Franklin, Q. Wang, T. W. Tombler, A. Javey, M.
Shim, H. Dai, Appl. Phys. Lett. 81(5), 913 (2002)
[11] A. Javey, Q. Wang, A. Ural, Y. Li, and H. Dai, Nano
Lett. 2(9), 929 (2002)
[12] 아주대 mems : http://mems.ajou.ac.kr
[13] 와우로봇 : http://www.wowrobot.co.kr/
[14] 머신 나우 : http://www.machinenow.co.kr/
[15] M.A. Grtillat, P. Thibaud, N, F. de Rooij, and C. Linder, "Electrostatic Polysilicon Microrelays Integrated with MOSFETs," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Oiso, Japan, Jan. 1994, pp. 97-101.
[16] 조영호 1992.“자동차용 반도체 집적 센서 및 마이크로 액츄에이터” 한국자동차공학학지, 제 14권, 제3호, pp.12~25
[17] 삼성종합기술원“최원봉 외 8명”"테라비트급 탄소나노튜브 메모리소자 개발". R0301128.
[18] Proc. MEMS’'2000, IEEE Catalog No. 00CH36308, Miyazaki, Japan (2000.1.)
[19] 주병권, Microelectromechanical System 을 위한 실리콘 웨이퍼의 직접 접합에 관한 연구, 고려대학교 박사학위 논문 (1995.2.)
[20] http://www.nanokorea.net/
[21] H.-S. P. Wong, “Beyond the conventional transistor”, IBM J.
Res. & Dev. 46 (2/3), 133-168 (2002)
[22] International Technology Roadmap for Semiconductors, For updated information, http://www.itrs.net/ntrs/publntrs.nsf.
[23] D. Frank and H.-S. P. Wong, Proc. of the IEEE silicon
nanoelectronics Workshop, 47 (2000)
[24] J. Hauser, “Gate dielectrics for sub-100 nm CMOS,”in IEDM Short Course: Sub-100 nm CMOS, M. Bohr, Ed., IEDM Tech.
Digest (1999)
[25] D. Fried, A. Johnson, E. Nowak, J. Rankin, and C. Willets,
Proc. of the device research conference, 24 (2001)
[26] S. Tiwari, M. Fischetti, P. Mooney, and J. Welser, IEDM
Tech. digest, 939 (1997)
[27] D.-H. Lee, et al., “Fin-channel-array transistor (FCAT) featuring sub-70 nm low power and high performance D R A M ,”IEDM Tech. digest, 407 (2003)
[28]
[29]
[30]
Chang-Woo Lee, Jin-Koog Shin, Byeong-Kwon Ju et. al., Advanced
Materials 13(18), 1371 (2001)
[10] N. R. Franklin, Q. Wang, T. W. Tombler, A. Javey, M.
Shim, H. Dai, Appl. Phys. Lett. 81(5), 913 (2002)
[11] A. Javey, Q. Wang, A. Ural, Y. Li, and H. Dai, Nano
Lett. 2(9), 929 (2002)
[12] 아주대 mems : http://mems.ajou.ac.kr
[13] 와우로봇 : http://www.wowrobot.co.kr/
[14] 머신 나우 : http://www.machinenow.co.kr/
[15] M.A. Grtillat, P. Thibaud, N, F. de Rooij, and C. Linder, "Electrostatic Polysilicon Microrelays Integrated with MOSFETs," Proc. IEEE Micro Electro Mechanical Systems Workshop, Oiso, Japan, Jan. 1994, pp. 97-101.
[16] 조영호 1992.“자동차용 반도체 집적 센서 및 마이크로 액츄에이터” 한국자동차공학학지, 제 14권, 제3호, pp.12~25
[17] 삼성종합기술원“최원봉 외 8명”"테라비트급 탄소나노튜브 메모리소자 개발". R0301128.
[18] Proc. MEMS’'2000, IEEE Catalog No. 00CH36308, Miyazaki, Japan (2000.1.)
[19] 주병권, Microelectromechanical System 을 위한 실리콘 웨이퍼의 직접 접합에 관한 연구, 고려대학교 박사학위 논문 (1995.2.)
[20] http://www.nanokorea.net/
[21] H.-S. P. Wong, “Beyond the conventional transistor”, IBM J.
Res. & Dev. 46 (2/3), 133-168 (2002)
[22] International Technology Roadmap for Semiconductors, For updated information, http://www.itrs.net/ntrs/publntrs.nsf.
[23] D. Frank and H.-S. P. Wong, Proc. of the IEEE silicon
nanoelectronics Workshop, 47 (2000)
[24] J. Hauser, “Gate dielectrics for sub-100 nm CMOS,”in IEDM Short Course: Sub-100 nm CMOS, M. Bohr, Ed., IEDM Tech.
Digest (1999)
[25] D. Fried, A. Johnson, E. Nowak, J. Rankin, and C. Willets,
Proc. of the device research conference, 24 (2001)
[26] S. Tiwari, M. Fischetti, P. Mooney, and J. Welser, IEDM
Tech. digest, 939 (1997)
[27] D.-H. Lee, et al., “Fin-channel-array transistor (FCAT) featuring sub-70 nm low power and high performance D R A M ,”IEDM Tech. digest, 407 (2003)
[28]
[29]
[30]
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- 등록일2006.05.29
- 저작시기2006.5
- 파일형식한글(hwp)
- 자료번호#352010
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