SEM(전자현미경)실험 예비보고서

소개글

SEM(전자현미경)실험 예비보고서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 실험 제목

2. 실험 목적

3. 이론

4. 실험 기구

5. 실험 방법

6. 참고 문헌

본문내용

상에서 선명한 상을 얻기 힘들다. 주사전자현미경의 배율조정 장치는 감쇠기와 stigmator의 전류 조절로 구성되어 있으며, 감쇠기는 가속전압과 배율변화를 자동으로 보정하는 역할을 하며, 실제 배율은 최종 aperture와 시료 표면 간의 거리에 의해 결정되게 된다.
② 해상력은 기본적으로 최종 spot size가 전자선과 시료간의 두 가지 작용요인에 의해 결정되는데, 대부분의 시판되는 기계는 최종 전자선의 반경이 5-10mm 정도로써 2차 전자는 10mm 정도의 해상력을 얻을 수 있다.
③ 초점심도는 최종상의 단면에서 고, 저 두 점의 거리를 실측하여 얻을 수 있다. 주사전자현미경의 깊은 초점심도는 최종 aperture의 반경에 의해 결정되므로 aperture 반경이 작아지면 초점심도는 커진다.
생물시료와 같은 비전도성의 시료인 경우에는 어떤 방법으로 그 시료에 전도성을 부여하지 않으면 그 상이 잘 관찰되지 않는다. 또, 시료 표면으로부터의 2차 전자 방출량이 만아야 그 상을 잘 관찰할 수 있다. 이를 위하여 진공 증착 또는 스퍼터링에 의해서 2차 전자 방출률이 큰 금속을 시료 표면에 얇게 코팅을 하게 된다. 진공 증착의 경우에는 금, 금-팔라듐을, 스퍼터링의 경우에는 금, 금-팔라듐, 백금 등을 사용하고 있다. 최근에는 스퍼터링이 더 손쉽기 때문에 많이 사용되고 있지만, 복잡한 구조인 경우에는 깊은 곳까지 똑같이 코팅하려면 진공 증착이 더 우수하다. 또, 원소 분석을 할 때와 같이 탄소 코팅을 하는 경우에는 진공 증착을 사용하지 않으면 안 된다.
6. 참고 문헌
물리학 실험 B-2 SEM 실험 매뉴얼

키워드

SEM,   전자현미경,   현미경