[나노현미경] 주사전자현미경(SEM),투과전자현미경(TEM),원자력현미경법(AFM) 비교 분석

소개글

[나노현미경] 주사전자현미경(SEM),투과전자현미경(TEM),원자력현미경법(AFM) 비교 분석에 대한 보고서 자료입니다.

본문내용

ctional Force Microscopy)
표면에서 일어나는 화학적 변화에 의한 탐침위의 측면 힘의 변화 측정
㉡자기력 현미경(Magnetic Force Microscopy)
자성체를 입힌 탐침을 사용하여 시료의 자기적 성질을 알아내는 장치
㉢정전기력 현미경(Electrosatic Force Microscopy)
정전기력을 사용하여 시료의 전기적 특성을 측정하는 장치
㉣주사 정전용량 현미경(Scanning Capacitance Microscopy)
축전기의 전극으로서 사용되는 침 사용
㉤분자인식 AFM(Molecular Recognition AFM)
특정한 리간드가 붙은 침사용
나.특 징
원자힘 현미경의 수직방향 분해능은 수평방향보다 좋아서 원자지름의 수십분의일(0.1nm)까지도 측정해낼수있다.
다.용 도
반도체의 표면계측,defect 분석, 콤팩트디스크,자기디스크나 광자기디 스크등에 쓰인 비트의 모양새 조사등에 쓰이고 있으며 최근 FPD(flat panel display)의 제조공정 분석장비로도 활용된다.
또한 관찰, 측정에 그치지않고 초소형 로봇의 기능도 할 수 있어 Nanolithography, Nanomaching, 분자의 합성등에 사용된다

키워드

SEM,   TEM,   AFM,   원자력현미경,   주사전자현미경,   투과전자현미경,   현미경,   나노현미경