주사전자현미경(sem)에 대해서

소개글

주사전자현미경(sem)에 대해서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 현미경의종류

2. 주사전자현미경(SEM)이란?

3. 주사전자현미경(SEM)의 역사

4. 주사전자현미경(SEM)의 구성

5. 주사전자현미경(SEM)의 작동원리

6. 주사전자현미경(SEM)의 활용 및 미래

본문내용

현미경의 종류
1) 광학현미경
* 일반광학현미경
* 위상차현미경
* 간섭현미경
* 암시야현미경
* 편광현미경
* 형광현미경
2) 전자현미경
* 주사전자현미경(SEM)
* 투과전자현미경(TEM)
3) 원자현미경
2. 주사전자현미경(SEM) 이란?
주사전자현미경(SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데
가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 50Å정도의 해상력을 지닌 것이 상품
화되어 있고, 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 10Å이하의 해상력
을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상
의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰
하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석,
반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료와 유가
제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다.SEM에서는 2차 전자 전류가 검출기
를 통해 전압이 떨어지게 되고, 전압이 감소하는 것을 TV를 통해 상으로
나타나게 된다.최근에는 대부분의 SEM에 X선 분석장치를 부착하여, 결정
구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 되었다. 특히 X선을 이용하여 작은 부피의 화학조성을 빠르고 측정할 수 있어서 이의 용도는 영상의 관찰이나 분석의 범위를 훨씬 능가하고 있다.
3. 주사전자현미경(SEM)의 역사
1935년 독일 베를린의 기술대학 교수였던 막스 크롤(Max Knoll)에 의해 주사전자현미경의 원리가 소개되었다. 주사전자현미경의 늦은 발전은 분해능을 뒷받침할 수 있는 고성능의 주변장치(전자검출기, 화상모니터)가 늦게 개발되었기 때문이다. 상품화한 것은 1960년대에 영국과 일본에서 제작되었다.
* 요약
1897년 톰슨(J.J. Thomson): 전자발견(노벨 물리학상 수상)
1924년 드 브로글리(de Broglie): 전자가 빛과 같은 파동성이 있음을 입증(프랑스,노벨물리학상 수상)
1926년 부쉬(Busch): 전자렌즈 발명
1935년 크놀(M. Knoll): 주사전자현미경의 원리 발표(독일)
1938년 아르덴네(CM. von Ardenne): 주사전자현미경 제작(독일)
1961년 스미스(K.C.A. Smith): 2차 전자검출기 적용시킴, 분해능 향상(25nm)
1964년 영국(캠브리지회사): 주사전자현미경 상품화 함      
일본(일본광학회사)
첨단 과학 장비인지라 아직까지도 전세계적으로 만들수 있는 나라가 몇곳이 안되지만 우리나라는 최근 몇년전부터 국내 벤처업체에서 개발에 성공하여 제조하고 있다.

키워드

주사전자현미경,   sem,   현미경