박막공학 A+ 문제 풀이(uniform한 박막 증착 방법)

소개글

박막공학 A+ 문제 풀이(uniform한 박막 증착 방법)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

여러개의 웨이퍼(wafer)를 uniform하게 증착하는 방법

본문내용

고정이 된다고 볼 수 있다. 그러므로 COS θ/((2r)COSΦ)=k (상수)가 되기 위해서는 COSθ/COSΦ가 상수가 되어야 한다. 그러므로 Φ=θ이 되어야 한다.
즉, 여러 장의 기판을 SURFACE SOURCE를 가지고 균일하게 증착기 위해서는 Φ=θ이 되는 위치에 각 기판을 두고 증착을 하면 된다는 의미 이다.
그리고 이것 뿐 아니라 Source와 Substrate 사이에 Shutter를 두고 이 Shutter를 rotating 시키면서 증착을 조절 해 주어야 SURFACE SOURCE에서 uniform한 박막 증착이 가능하다.
REFERENCE
박막공학 자료 (박원일 교수님)
Materials Science of Thin Films, MILTON OHRING, second edition

키워드

박막,   uniform,   증착,   wafer,   웨이퍼