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본문내용
0mm 경우 약 4~5kgf 정도) 전후가 많이 사용되며 시간은 약 5분 정도로 작업이 끝나는 것이 일반적이다. 시편이 커지면 힘을 증가 시키는 것보다는 시간을 늘이는 것이 바람직하다. 시편에 가해지는 압력은 가하는 힘, 시편의 면적 및 mounting재료 등에 따라 영향을 받는다. 특히 시편이 mounting재료에 비해 월등히 단단한 경우에는 가하는 하중을 시편의 면적으로 나눈 값이 시편에 가해지는 압력으로 정의할 수 있다. 높은 압력은 당연히 grinding 속도가 증가하나 더불어 시편에 가해지는 손상량도 증가한다. 높은 압력은 마찰열을 수반하는데 이는 ceramics, minerals and composites 재료의 CMP에서는 도움이 되며 같은 이유로 단단하고 취성이 큰 nodular cast iron 등은 높은 압력과 낮은 속도로 grinding을 함으로서 inclusion이나 이상 조직을 유지할 수 있다.
⑥시간
가급적 짧은 시간이 바람직 하다. 너무 오랜 시간의 작업은 relief 및 edge rounding 같은 원치 않는 현상이 발생한다.
4. 참고 자료
“http://www.metallography.co.kr/tec_main.htm”
⑥시간
가급적 짧은 시간이 바람직 하다. 너무 오랜 시간의 작업은 relief 및 edge rounding 같은 원치 않는 현상이 발생한다.
4. 참고 자료
“http://www.metallography.co.kr/tec_main.htm”
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