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다음과 같다.
여기서, ε은 매질의 유전율로서 진공의 유전율 ε0에 대한 비로서 나타낼 때 즉, ε/ε0를 비유전율(εr) 이라 한다. 결국 ε= ε0 εr 의 관계에 있다. Chap. 1 방전기초
Chap. 2 플라즈마의 기초
Chap. 3 플라즈마응용 박막기술
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플라즈마 응용 프로그램의 몇 가지 예일 뿐입니다. 플라즈마 기술이 계속 발전하고 발전함에 따라 다양한 분야에서 더 많은 응용 분야가 나타날 것으로 예상할 수 있습니다.
그림출처
https://americantorchtip.com/blog/what-is-plasma/
https://plasmauniverse.inf
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마개로 사용하는 장치를 탠덤미러라 한다. 1. 플라즈마
2. 플라즈마의 생성
3. 주변의 플라즈마 상태
4. 플라즈마의 응용
1)플라즈마디스플레이 [plasma display]
2)플라즈마발광법
3)플라즈마 엔진 [plasma engine]
4)플라스마의 핵융합 연구
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plasmaquest.com/
[7] Fujitsu , http://www.fujitsu.co.jp/
[8] Chen , Plasma Physics and Controlled fusion , Plenum Press , New York, 1988
[9] Ruth DeJule, Flat Panel Technologies, Semiconductor International , January, 1997 , 59-66 pages
[10] 임한조, 플라즈마 표시소자의 원리와 응용, 물리학과 첨단
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플라즈마는 핵융합 발전연구에 활용되는 초고온 플라즈마와 산업용으로 활용되고 있는 수만-수십만도의 저온 플라즈마 2가지로 크게 분류됨 1. 진공이란
2. 진공의 단위 및 분류
3. 증착 장비
4. Magnetron Sputtering
5. 플라즈마 기초 및 응용
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