AIPEL

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AIPEL (Atomic Image Projection Electron-beam Lithography)로 명명된 이 전자빔 리소그래피 기술은 고분해능 투과전자현미경을 이용하여 옹스트롬 (Å: 1Å = 10-10 m) 크기의 원자 이미지를 수십배에서 수백배의 영역에서 확대한 이미지를 얻고, 이를 이용하여

AIPEL 첨단기술, 신기술 기술정보, 신개념 리소그래피 AIPEL,

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등록일 2004.08.11
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