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of J. Amer. Ceram. Soc., Oct. (1996).
5. J. Cho et al., "Effect of Yttrium and Lanthanum on the Tensile Creep Behavior of Aluminum Oxide," J. Amer. Ceram. Soc., 80(4), 1013-17 (1997). □ 수비 및 소결실험
1. 서 론
2. 이론적배경
3. 실험 및 분석방법
4. 분석 및 고찰
5. 결 론
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zirconia(YSZ)와 같은 세라믹 분리막을 통과한다. Anode에서 산소이온이 탄화수소와 반응하여 전기, 물, 그리고 이산화탄소가 생성된다.
하지만 탄화수소가 산소와 결합하여 이산화탄소를 생성하는 대신 SOFC 니켈 anode에 탄소가 침적되는 경우가
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Etching process에는 용액을 사용하는 Wet etching과 plasma를 사용하는 Dry etching으로 나눌 수 있다. 그리고 이번 실험에서 우리는 Wet etching process를 사용하기로 한다.
여기 etching에 사용되는 용액은 약한 산성을 띄는 테프론(Buffered Oxide Etch)으로 HF의 성
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건식 : Sputter, Evaporation
습식 : Screen printing, roll to roll ink jet
Dry etching : laser etching
Photolithography, Lift-off
Ag electrode silk printing, laminating
ACF bonding
Indium tin oxide (ITO)는 가시 광 영역에서 높은 광투과율 (> 80%) 과 낮은 전기
비저항 값 (< 1 × 10?3
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oxide (30%)
10 ml
10 ml
수초~수분
WC
Oxide Ceramics
-Carbe Ceramics
부 식 액
농 도
부 식 조 건
비 고
Thermal etching in air
수분~수시간
Al2O3,
Al2O3-MgO
Molten Salt
Potassium hydrogen fluoride melt
5-10, Pt crucible
Al2O3,
Al2SiO5
Distilled water
Phosphoric acid
15 ml
85 ml
5분~2시간 bo
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