HV-recess 공정

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이온주입 조건 Dual Gox 구현 방법 (tunnel) Dual Gox 구현 방법 (HV-recess) Self-aligned(SA) STI Tunnel oxide 방향 HV-recess 공정 SA-STI 공정 Poly-0 profile 관리 기준 New HR-STI (High-voltage Recessed STI) STI CMP 관리 기준 STI OverCMP에 의한 HV 불량 CONTENTS 정리

NAND TR 종류및 구조 SA-STI 공정, HV-recess 공정 Poly-0 profile 관리 기준, Dual Gox Active, NAND TR 종류및 구조,

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등록일 2021.02.15
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