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PACVD(Plasma-assisted chemical vapor deposition)
thermodynamic factors ① Kinetic effects ② Thermodynamic effects 3). plasma-surface interaction (1) High-energy ion/neutral particle bombardment (2) Low-energy ion/neutral particle bombardment(〈100eV) 3. PACVD equipment requirements 4. Applications of PACVD 1) Wear resitance coating 2)
PACVD thermodynamic effect, Kinetic effect plasma, PACVD(Plasma-assisted chemical vapor deposition),
  • 페이지 11페이지
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  • 등록일 2007.10.18
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  • 참고문헌 없음
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