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CMP 용 로타리 조인트 수리
CMP 공정 유지비용
Test System 연결
Leak Test Setting
Leak Test 방법 및 Spec
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제안 제품(CMP Rotary Union) 소개
3. CMP Ebara Rotary Union 고장 유형
4. 제안 Rotary Joint 제품의 특징
5. 제안 Rotary Joint Operating Data
6. Rotary Union Concept 비교
7. 실험 DATA 비교
8. 실험 DATA 결론
9. AMAT CMP 용 로타리 조인트 수리
10. AMAT CMP 용 로타리 조인트
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발생하지 않고 장기간 사용 할수 있습니다.
기존 Bearing에 대하여 상태를 점검하여 구리스를 교체 및 정기적 관리 가능 합니다. 1 Conditioner Body 내부
2Flexure 지지 축
3 종합의견
4 별첨
5 CMP 부품 소재 분석
6 CMP 용 로타리 조인트 수리
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