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X-ray실에는 사용하지 않고 M의 위치에 X-선원을 바로 놓는다. 그러나 이 방법으로는 박막이 우선방위 성장을 한 것인지 epitaxial 성장을 한 것인지 알아볼 수 없으며, 이를 알아보기 위해서는 Pole-figure를 측정하여야 한다.
그림. 15 θ 주사법
그림
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Diffraction)조건
▷X선 회절 분석기(X-Ray Diffractometer, XRD)
1. 구성
2. X선 발생장치(X-Ray Generator)
1) Sealed-off X-ray Tube 와 Demountable X-ray Tube
2) 고전압 발생장치(High Voltage Generator)
3) 각종 보안회로
3. 고니오메타(Goniometer)
집중법의 기본원리
4. 계수
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(3)XRD 시스템
1. XRD 구성
1) X-ray 발생장치(X-ray Generator)
2). Goniometer
3) 계수기록장치(Electronic Circuit Panel)
4)Filter
(4)XRD 실험방법
1. 분말X선회절법에 의한 동정법의 특징
2. X선에 의한 동정법의 한계
3. ICDD card
4. 색인서(Index book)
Referece
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X-Ray Diffractometer, XRD) 이다.
X선 디프랙토메타(X-Ray Diffractometer, XRD)의 기본원리
위 그림과 같이 시료를 중심으로 원주상에 있는 계수관을 회전시켜 X선강도와 계수관의 각도 2q의 관계를 기록지위에 기록한다.
격자면간격 d는 측정값 2q로 부터 B
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et재료보다 원자번호 1개 작은 것을 택하게 된다. filter는 보통 thin foil이 사용된다. 대부분의 X-ray 회절 실험에서는 가능한 한 monochromatic radiation에 가까운 radiation이 요구된다.
Feature
http://minhofx.blog.me/110082024006
XRD에 대한 특징으로는 시료에 대
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