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Electron Spectroscopy)
(1) 기본원리
(2) AES/SAM의 구조
1. Electron Gun
2. Energy Analyzer
3. UHV chamber (10-10 torr)
4. Ion gun
(3) AES분석의 종류
1. Auger Image Mapping
2. Auger Spectra
1)정성 분석
2)정량 분석
3. Auger Point Analysis
4. Auger Line Scan
5. 수직분포 분석(Dep
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rgy state에 있게 되어 secondary electron의 방출이 다른 곳보다 많다. 그 결과 SEM image에서 grainboundary는 밝게(흰색)으로 나타난다.
(2) 배율의 차이
SEM은 전자가 시편을 통과하는 것이 아니라 초점이 잘 맞추어진 전자선 electron beam을 표본의 표면에 주
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고배율이 된다.)
SE Detector
Collector에 Bias를 걸어서 S.E를 끌어 모으고 Scintillator tip을 통과해서 PMT에서 증폭이 가능하도록 전류로 변환한다. SEM의 원리
SEM (Scannng Electron Microscope)은 Electron beam이 Sample의 표면에 주사하면서 Sample과의 상호
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electron gun)과 집광렌즈(condenser lenses)로 구성되어 시편에 입사되는 전자비임의 양을 조절한다.
specimen manipulation system 은 specimen stage와 specimen holders로 구성되여 얇은 시편의 방향을 조절한다.
Imaging system은 objective, intermediate, projector lenses들로
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Electron Gun)
<그림 3-2> CRT의 개략적 구조
Panel
CRT의 전면 즉 화면에 해당되는 부분으로 진공용기의 일부를 구성함과 동시에 전기신호로 전송, 수신된 영상정보가 최종적인 시각정보로 변환되는 곳이다. 패널의 안쪽에 형성된 형광면은 빛의
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