MEMS (정의, 역사, 관련 자료, 응용 분야, 미래 전망)

소개글

MEMS (정의, 역사, 관련 자료, 응용 분야, 미래 전망)에 대한 보고서 자료입니다.

목차

MEMS 란?
MEMS 의 역사 / 관련 자료
MEMS 의 응용분야
MEMS 의 미래전망
출처

본문내용

MEMS 란?
이 기술을 말 그대로 전자기계 소자를 육안으로는 보이지 않을 정도로 작은 마이크로 규모로 제작하는 기술

MEMS 의 역사
1960년대 초 실리콘 가공기술에서 시작
미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프 기어
실리콘 기판위에 압력센서가 속도 센서등과 신호처리용 집적회로, 그리고 센서에 의해서 제어가 가능

키워드

MEMS 정의,   역사,   관련 자료,   응용 분야,   미래 전망,   MEMS