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MEMS기술을 사용한다. 캔틸레버에 붙은 자석은 MEMS기술로 가공하지만, 이러한 가공기술을 MAGMAS(Magnetic Micro-Actuators and Systems)라 부른다. 입·출력특성에 있어서 선형성이 높다. 현재, 60만~80만개/월 로 생산하고 있다.
기울기의 검지방법은, 중력
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MEMS 란?
이 기술을 말 그대로 전자기계 소자를 육안으로는 보이지 않을 정도로 작은 마이크로 규모로 제작하는 기술
MEMS 의 역사
1960년대 초 실리콘 가공기술에서 시작
미세 기계요소 즉, 밸브, 모터, 펌프 기어
실리콘 기판위에 압력센서
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정의, 한국전산원
MEMS 개요, MachineNow
변증남, '지능형 주거 시스템을 위한 센서기술', 월간 자동화기술, 2002년 11월호
물리공간과 전자공간의 연결체계, 전자신문, 2002년 6월 11일
명진영, 노마드 새로운 문화코드로 떠오르다, 인프라월드, 2003
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e는 100℃ 이다.
Ⅱ. MEMS
1. MEMS 의 정의
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)란 마이크로시스템, 마이크로머신, 마이크로 메카트로닉스 등의 동의어로서 혼용되고 있으며 번역하면 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미한다. 아직까지 정식으로 논의
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목적에 맞는 소량의 제품 생산이 가능
Bio-MEMS는 Biotechnology와 MEMS (Micro Electro Mechanical System)의 합성어로서 체내 혹은 체외에서 생체신호를 분석할 수 있는 초소형 소자를 의미 Bio-MEMS 정의
Biomedical Engineering
Bio Chip
현재 동향
전망
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