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http%3A%2F%2Fwww.google.co.kr%2Furl%3Fsa%3Dt%26rct%3Dj%26q%3D%26esrc%3Ds%26source%3Dweb%26cd%3D4%26ved%3D2ahUKEwi8xP370YPfAhXT7GEKHc-7A3AQFjADegQICRAB%26url%3Dhttp%253A%252F%252Fm.blog.naver.com%252Fyoungdisplay%252F221043033589%26usg%3DAOvVaw2lg4nXlzDYwPbXbP1ks9vj - 반도체공정 _증착[RF스퍼터링]
http://www.google.co.kr/url?sa=t&rct=j&q=&esrc=s&source=web&cd=9&ved=2ahUKEwi59cbZ24PfAhXBvrwKHWayAGIQFjAIegQIABAC&url=http%3A%2F%2Fwww.itfind.or.kr%2Fadmin%2FgetFile.htm%3Fidentifier%3D02-004-130319-000019&usg=AOvVaw1vGx8-oJXW7p106uxmAeNk - RF 마그네트론 스퍼터링에 의해 제조된 AlN 박막의 증착 특성 - 한국세라믹기술원 나노IT소재팀 , 한양대학교 신소재공학과
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