에피택시 (Epitaxi) LPE VPE MBE

소개글

에피택시 (Epitaxi) LPE VPE MBE에 대한 보고서 자료입니다.

목차

*에피택시
1.LPE

2.VPE

3.MBE

본문내용

에피택시는 그리스 문자 epi(위에)와 taxis(배열)의 합성어로서 결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나 또는 다른 결정 구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술을 뜻한다.에피탁시는 방법에 따라 크게 세 가지로 분류되는데, 액상 에피택시(liquid phase epitaxy, LPE), 기상 에피택시(vapor phase epitaxy, VPE), 분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)등이 있으며, 최근에는 서로 결합된 방법도 많이 사용된다.
1.LPE (Liquid Phase Epitaxi)
결정재료가 녹아 있는 포화용액을 기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것으로,

키워드

에패택시,   epitaxi,   LPE