jisikworld

에피택시 공정
본 자료는 10페이지 의 미리보기를 제공합니다. 이미지를 클릭하여 주세요.
닫기
  • 1
  • 2
  • 3
  • 4
  • 5
  • 6
  • 7
  • 8
  • 9
  • 10
  • 11
  • 12
  • 13
  • 14
  • 15
  • 16
  • 17
  • 18
  • 19
  • 20
  • 21
  • 22
  • 23
  • 24
  • 25
  • 26
  • 27
  • 28
  • 29
  • 30
  • 31
  • 32
  • 33
  • 34
  • 35
  • 36
  • 37
  • 38
  • 39
  • 40
  • 41
  • 42
  • 43
  • 44
  • 45
  • 46
  • 47
  • 48
  • 49
  • 50
  • 51
  • 52
  • 53
해당 자료는 10페이지 까지만 미리보기를 제공합니다.
10페이지 이후부터 다운로드 후 확인할 수 있습니다.
다운로드 장바구니

소개글

에피택시 공정에 대한 보고서 자료입니다.

목차

1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및 설명

본문내용

결정재료가 녹아 있는 포화용액을  기판과 접촉시켜서 결정을 성장시키는 것
LPE법은 많은 반도체 결정들을 용융점보다 훨씬 낮은 온도에서 성장시킬 수 있는 기술 (반도체와 제2의 원소의 혼합물은 그 반도체 자체보다 낮은 온도에서 녹기도 하기 때문에, 이러한 혼합물 용액으로부터 결정을 성장시키는 것이 유리한 경우가 있어, 이 경우에 LPE가 사용된다.)
1963년 Nelson에  의해 최초로  구현된 후,  주로 Si,  GaAs, AlGaAs, GaP 에피택시에 널리 이용

키워드

에피택시,   반도체공정,   액상 에피택시,   기상 에피택시,   분자빔 에피택시,   epitaxy,   박막두께 측정,   에피공정

추천자료

  • 가격7,200원
  • 페이지수53페이지
  • 등록일2010.06.09
  • 저작시기2009.12
  • 파일형식파워포인트(ppt)
  • 자료번호#618071
본 자료는 최근 2주간 다운받은 회원이 없습니다.
청소해
지식월드
다운로드 장바구니