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에피택시에 널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및
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에피층의 도핑은 증착중 PH3, B2H6 또는 AsH3와 같은 도펀트를 포함하는 기체를 도입하여 조절한다.
◎참고문헌 및 자료 출처
- Robert F. Pierret, 박창엽 역, 반도체소자공학, 교보문고, 초판, 1997, pp.149-164 반도체 공정과정
1. 산화
2. 확산
3.
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에피택시 (Epitaxy) 공정
1.에피택시란?
그리스문자 epi(위에) + taxis(배열) = 에피택셜 성장(epitaxial growth) 또는 에피택시(epitaxy)
기판 웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는 얇은 단결정 막을 기르는 기술
기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는
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공정의 실현 등에서 유리하며, 최근 많이 채택되고 있는 기술이다. 반도체 제조공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 화학기상증착(CVD) 공정
CVD 반응장치
에피택시(Epitaxy) 공
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공정
3-1. 제조공정
○ LED 제조공정은 에피(Epi)웨이퍼 제조→칩 생산→패키징→모듈제작으로 진행된다.
<그림> LED 제조공정-1
에피웨이퍼는 기초소재인 단결정 웨이퍼에 단결정 박막을 성장시킨 것.
칩 생산 공정은 전극을 형성하고 개별
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