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성장 속도가 초크랄스키법 속도의 1/1000.
두께가 수 ㎛ 정도인 소자용 결정층의 제작에 이용
기판 결정의 용융점보다 훨씬 낮은 온도에서 행해짐 화합물 반도체란?
에피택시 (Epitaxy) 공정이란?
HVPE (Hydride Vapor Phase Epitaxy)
LPE (Liquid Phase Epi
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, 인산소다
(네가티브용) n-부틸아세테이트
(포지티브용) H2)
성분불명의 전용박리제
유기클로로실란, 헥사메틸디실라잔
건조
증기건조
프레온, 에탄올, 이소프로필알콜 제5장 반도체 공정기술
5.1 반도체 공업
5.2. 반도체 제조 원료
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공정의 실현 등에서 유리하며, 최근 많이 채택되고 있는 기술이다.
참조
NECST @ KNU 반도체공정교육및지원센터
IHS Technology (http://www.displaybank.com/)
신기술융합형 성장동력사업(http://blog.naver.com/mest_crh/150118453465)
나노종합 기술원(http://blog.naver.com/n
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성장 성공 이후 LPE는 새로운 전자 산업용 소자의 요구에 부응하여 급성장
II. 에피택시란?
1) 에피택시(Epitaxy)
기판 웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는 얇은 단결정 막을 기르는 기술을 에피택셜 성장(epitaxial growth) 또는 에피택시(epitaxy)라 한
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성장만을 추구해 온 많은 기업군들이 효과적 경영을 위하여 힘을 집중시키고, 비효율적인 기업을 처분하는 등 소위 기업의 구조 재편성 작업(Corporate Restructuring)을 통하여 기업전략의 재정비를 필요로 하는 시간에 이르렀으며 또한 급속한 기
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