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에피택시에 널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및
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포함하는 기체를 도입하여 조절한다.
◎참고문헌 및 자료 출처
- Robert F. Pierret, 박창엽 역, 반도체소자공학, 교보문고, 초판, 1997, pp.149-164 반도체 공정과정
1. 산화
2. 확산
3. 이온주입
4. 리소그래피
5. 박막증착
6. 에피택시
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에피택시 (Epitaxy) 공정
1.에피택시란?
그리스문자 epi(위에) + taxis(배열) = 에피택셜 성장(epitaxial growth) 또는 에피택시(epitaxy)
기판 웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는 얇은 단결정 막을 기르는 기술
기판은 그 위에 새로운 결정을 성장시키는
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공정의 실현 등에서 유리하며, 최근 많이 채택되고 있는 기술이다. 반도체 제조공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 화학기상증착(CVD) 공정
CVD 반응장치
에피택시(Epitaxy) 공
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에피택셜 성장이란?）
〔 화학 반응 또는 열분해〕➠ ➠〔박막형성〕
02 수소화물기상에피택시(HVPE)를 이용한 GaAs
≪ 그 림 ≫
02 공정 첫 번째 단계
Carrier Gas인 H₂를
AsCl₃(실온에서 액체)에
도입하여
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에피택시 성장 기술을 이용한 양자점 제작
- 전자빔 리소그래피 기술을 이용한 게이트 제작
- 저온 전기 측정을 통한 양자점 트랜지스터 특성 분석
○ 연구 기대 효과
본 연구를 통해 고성능 양자점 트랜지스터 개발을 통한 전자 소자 기술 발
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공정성 또는 윤리성 문제가 제기된 문제를 처리했던 경험에 대하여 기술하시오.
3. 팀워크의 중요성에 대해 자신의 생각은 무엇이며, 이와 관련된 본인의 경험(역할, 기여도, 성취도 등)을 기술하시오.
4. 스펙쌓기(학교, 학점, 어학 등)을 제
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