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에피택시에 널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및
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에피택시는 그리스 문자 epi(위에)와 taxis(배열)의 합성어로서 결정구조를 갖는 물질(기판)위에 기판과 같거나 또는 다른 결정 구조를 갖는 물질을 성장시키는 기술을 뜻한다.에피탁시는 방법에 따라 크게 세 가지로 분류되는데, 액상 에피택시
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화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 화학기상증착(CVD) 공정
CVD 반응장치
에피택시(Epitaxy) 공정
* 액상 에피택시(LPE)
* 기상 에피택시(VPE)
식각(Ecthing) 공정
*건식 식각(dry etching)
웨이퍼 세정(wafer cleaning)
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에피택시 합성법
에피택시합성법은 실리콘카바이드(SiC) 와 같이 탄소가 결정에 흡착되거나 포함되어 있는 재료를 약1,500℃ 의 고온분위기에서 열처리를 통해 탄소가표면의 결을따라 성장하면서 그래핀층을 형성한다
핀과 분석을 위해사용한
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에피택시
에피택시는 특별한 종류의 박막증착법이다. 앞서 설명한 증착법은 비정질이나 다결정체박막을 형성하는 반면 에피택시는 반도체격자와 같은 결정질층을 형성한다. 에피택시라는 말은 ‘~위에 증착된’이라는 두 그리스 단어로부
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에피택시 성장 기술을 이용한 양자점 제작
- 전자빔 리소그래피 기술을 이용한 게이트 제작
- 저온 전기 측정을 통한 양자점 트랜지스터 특성 분석
○ 연구 기대 효과
본 연구를 통해 고성능 양자점 트랜지스터 개발을 통한 전자 소자 기술 발
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