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에피택시에 널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및
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분자빔 에피택시(molecular beamepitaxy)등으로 금방 성장시킨 경우도 이에 해당하며 성장중에 도핑농도가 변화할 수도 있다. 이런 모든 경우 C-V법으로 도핑농도를 알 수 잇는가? 우리가 측정하고자 하는 값은 깊이에 따른 도핑농도 즉 반도체 내의
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에피택시
에피택시는 특별한 종류의 박막증착법이다. 앞서 설명한 증착법은 비정질이나 다결정체박막을 형성하는 반면 에피택시는 반도체격자와 같은 결정질층을 형성한다. 에피택시라는 말은 ‘~위에 증착된’이라는 두 그리스 단어로부
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화학반응 공정 - 산화(oxidation) 공정
반도체 제조의 주요 화학반응 공정 - 화학기상증착(CVD) 공정
CVD 반응장치
에피택시(Epitaxy) 공정
* 액상 에피택시(LPE)
* 기상 에피택시(VPE)
식각(Ecthing) 공정
*건식 식각(dry etching)
웨이퍼 세정(wafer cleaning)
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에피탁시는 방법에 따라 크게 세 가지로 분류되는데, 액상 에피택시(liquid phase epitaxy, LPE), 기상 에피택시(vapor phase epitaxy, VPE), 분자선 에피택시(molecular beam epitaxy, MBE)등이 있으며, 최근에는 서로 결합된 방법도 많이 사용된다.
1.LPE (Liquid Phase Ep
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빔을 발사하는 것에 대해서 전계 방출 디스플레이는 픽셀마다 전자축을 설치해서 형광체에 비친다. 작동 방식이 기존 브라운관과 유사하면서도 평판으로 되어 있어 차세대 평판 브라운관이라고도 한다. FED의 음극판 패널은 전자를 방출하는
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분자선 에피택시 성장 기술을 이용한 양자점 제작
- 전자빔 리소그래피 기술을 이용한 게이트 제작
- 저온 전기 측정을 통한 양자점 트랜지스터 특성 분석
○ 연구 기대 효과
본 연구를 통해 고성능 양자점 트랜지스터 개발을 통한 전자 소자
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