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- Epitaxy 란?
기판웨이퍼 위에 같은 방향성을 갖는
얇은 단결정 막을 기르는 기술
HVPE는 현재 차세대 광원으로 각광
받고 있는 GaN기판 제작법
고속성장, 소자용 결정층의 제작에 용이,
낮은 온도에서 제작&nbs
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결정을 성장시키는 시드 결정
(seed crystal)이 되며,새 결정은 기판과 같은 결정구조 및
방향성을 가진다. Epitaxy
-Epitaxy란?
-성장목적
-종류
LPE
-LPE 성장 원리
-성장장치에 따른 분류
-냉각방법에 따른 분류
-결함
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널리 이용 1. 에피택시란 ???
2. 액상 에피택시(LED: Liquid-Phase Epitaxy)
3. 기상 에피택시(VPE : Vapor Phase Epitaxy)
4. 분자빔 에피택시(MBE: Molecular Beam Epitaxy)
5. CVD, PVD
6. Epitaxy 검사장비의 종류 및 설명
7. 박막두께 측정장비 종류 및 설명
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LPE작동원리
LPE법은 많은 반도체 결정들을 용융점보다 훨씬 낮은 온도에서 성장시킬 수 있는 기술이다. 반도체와 제2의 원소의 혼합물은 그 반도체 자체보다 낮은 온도에서 녹기도 하기 때문에, 이러한 혼합물 용액으로부터 결정을 성장시키
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수소화물 기상 에피택시
(HVPE, Hydride Vapor Phase Epitaxy)
01
〔단결정 박막의 원료 물질〕➠ ➠〔고온로 내에 도입〕
（기상 에피택셜 성장이란?）
〔 화학 반응 또는 열분해〕➠
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